蓝宝石长晶炉热场用盖板: 做为蓝宝石生长炉中的隔热组件,钼反射屏及上下盖板的最关键作用就是对炉内热量的阻隔与反射,高纯度、尺寸精确、表面光洁、组装方便、设计合理的隔热组件对提高蓝宝石晶体的拉晶质量具有十分重要的意义。
一、产品物理、化学性能:
1、纯度:Mo≥99.95% 或者 W≥99.95%;
2、密度:Mo材质≥10.1g/cm3 或者 钨材质≥19.1g/cm3;
3、应用温度环境:≤2400℃;
二、产品尺寸和公差:
上下盖板(mm) |
钼反射屏(mm) |
单张钼片生产 |
多张钼片拼接 |
板材厚度 |
最大直径 |
板材厚度 |
最大圆筒直径 |
最大圆筒高度 |
2.0±0.1 |
660±0.2 |
2.0±0.1 |
450±2 |
660±1 |
可以根据客户需求定制 |
1.0±0.08 |
660±0.2 |
1.0±0.08 |
610±2 |
660±1 |
0.5±0.04 |
660±0.2 |
0.5±0.04 |
700±2 |
660±1 |
0.3±0.03 |
660±0.2 |
0.3±0.03 |
700±2 |
660±1 |
三、生产工艺及设备:
钼反射屏 |
序号 |
生产工艺 |
生产设备 |
质量检验点 |
1 |
钼板(原材料) |
|
1、理化性能;2、长宽厚尺寸; 3、表面质量 |
2 |
检验 |
|
3 |
卷板 |
三辊非对称式卷板机 |
1、表面清洁; |
4 |
钻孔、铆接 |
数控铣床,台钻 |
2、圆筒直径、高度; |
5 |
清洁 |
|
3、铆钉可靠; |
6 |
检验 |
|
4、组装孔位置; |
7 |
组装
|
组装平台 |
1、表面清洁; |
8 |
清洁 |
|
2、圆筒直径符合要求,高度一致; |
9 |
检验 |
|
3、组装可靠,层与层之间无粘接; |
10 |
包装 |
|
4、出示质量证明书 |
上下盖板 |
序号 |
生产工艺 |
生产设备 |
质量检验点 |
1 |
钼板或者钨板 |
|
1、理化性能;2、长宽厚尺寸; 3、表面质量 |
2 |
检验 |
|
3 |
线切割 |
线切割 |
1、表面清洁; |
4 |
机加工 |
数控铣床,台钻,车床 |
2、按图公差; |
5 |
清洁 |
|
3、无起皮、裂纹; |
6 |
检验 |
|
|
7 |
组装 |
组装平台 |
1、表面清洁; |
8 |
清洁 |
|
2、组装可靠,无松动; |
9 |
检验 |
|
3、组装公差; |
10 |
包装 |
|
4、出示质量证明书 |
四、存放和使用建议:
1、钨钼为脆性材料,必须妥善放置,轻拿轻放。
2、钨钼制品在存放时,所, 处环境的相对湿度不得高于60%,否, 则极易氧化。
3、钨钼隔热屏在空烧或长过晶体后,已完全再结晶,此时晶粒很细,脆性很大,要尽量避免碰触。
4、钨钼高温下很容易氧化,高温时真空度不应高于10-3Pa。
5、钼的蒸发速率远大于钨,建议在超过1800℃高温区采用钨制品。
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钨钼配套产品系列:真空炉加热室, 蓝宝石炉热场配件, 单晶炉热场配件
稀有金属加工件类:钼、钨、钽、铌、钛、锆、镍的板材、棒材、丝材、管材、坩埚、舟、靶材、
标准件及各种异型制品。
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